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本发明涉及硬质薄膜材料领域，具体涉及一种具有热循环服役能力的自润滑纳米结构薄膜材料，该材料由四种纳米结构调制层交替沉积获得：一种调制层是SiNx‑SMe层（SMe为软金属），位于每一调制周期的最底部，由非晶SiNx和纳米晶SMe两相组成，呈现非晶包裹纳米晶的微结构；另一种调制层是MoxN层；第三种调制层是SiNx‑MoxN层，其位于SiNx‑SMe层和MoxN层之间，由SiNx和MoxN两相构成；第四种调制层是MoxN‑SiNx层，其位于最顶层，由SiNx和MoxN两相构成。本发明的有效果为：通
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112501556 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011316934.8
(22)申请日 2020.11.20
(71)申请人 江苏科技大学
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