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本发明为显影液分类回收处理设备，包括壳体，所述壳体包括进料口、进料斗、成分检测器、第一收集罐、第二收集罐、第一排水管、第二排水管以及控制器，所述进料斗位于所述壳体的顶端，所述进料口位于所述壳体的顶端，所述进料口连通所述进料口的内部，所述成分检测器位于所述壳体的顶端，且所述成分检测器靠近所述进料斗，所述成分检测器上设有检测头，所述检测头连通所述进料斗的内部，通过成分检测器对进料斗内部的物料进行检测，如果是显影液将打开第一药业阀，如果是DI水将打开第二药业阀，通过第一收集罐和第二收集罐进行分类储存，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112495017 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011248887.8
(22)申请日 2020.11.10
(71)申请人 芯米（厦门）半导体设备有限公司
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