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本发明公开了一种基于硅SIW隔离腔的微封装MEMS开关滤波器组及其制造方法，滤波器组包括SIW隔离腔、开关芯片、下层A滤波器组、上层B滤波器组、滤波器与开关的互连电路、密封键合环结构和5层衬底材料；下层A滤波器组位于自下而上A衬底和B衬底之间，上层B滤波器组位于自下而上C衬底和D衬底之间。本发明利用硅基MEMS圆片级键合工艺将多个开关与上下堆叠的MEMS开关滤波器组进行集成封装，极大缩小了传统开关滤波器组件的体积；SIW隔离腔结构提升了多个小型化滤波器间的隔离度；MEMS工艺的微米级高精度加工技
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112491385 B
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202011091603.9 B81B 7/00 (2006.01)
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