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本发明的目的是提供能够减少划痕产生的研磨垫及研磨加工物的制造方法。研磨垫,其具备聚氨酯片作为研磨层,在浸水状态下以频率1.6Hz、20~100℃的条件进行的动态粘弹性测定中,所述聚氨酯片在40~60℃的范围内具有损耗角正切tanδ的峰。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112512747 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 201980049927.5 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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