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本发明涉及一种共光路结构的激光剪切散斑干涉测量装置及方法，包括剪切量标定模块、共光路扩束照明模块、带有4f系统的剪切散斑干涉成像模块、控制采集处理模块。本发明采用4f系统成像方式，使得成像镜组前置，可根据被测样品的大小更换不同焦距的镜组，并应用偏振移相法，实现应变与离面位移的动态高速测量。此外本发明采用共光路结构的扩束照明方式，实现了大视场、高质量的扩束效果，同时消除了照明光轴与成像光轴的夹角误差，提高离面位移的测量精度。本发明可用于缺陷检测、应力分布和离面位移等物理量的实时监测与测量，可广泛用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115790364 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202211497775.5
(22)申请日 2022.11.27
(71)申请人 桂林电子科技大学
地址 54100
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