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致动器的感测装置以及致动器的控制系统.pdfVIP

致动器的感测装置以及致动器的控制系统.pdf

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    本申请提供一种致动器的感测装置，其是应用于致动器的感测装置，所述致动器具备轴，所述轴能够沿轴向移动，且至少在所述轴的前端部侧具有通过使所述轴的内部成为中空而形成的中空部，所述致动器通过在所述中空部产生负压而使工件吸附于该轴的前端部，并将该工件拾起。该感测装置具备：流量传感器，其设置于空气通路的中途，且对在该空气通路流动的空气的流量进行检测，所述空气通路是在使中空部为负压时供从该中空部吸出的空气流通的通路；以及压力传感器，其设置于空气通路的中途，且对该空气通路内的压力进行检测。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112514552 B (45)授权公告日 2022.06.24 (21)申请号 201980051023.6 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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