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一种调控213nm激光输出功率的方法及其装置.pdfVIP

一种调控213nm激光输出功率的方法及其装置.pdf

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    本公开提供了一种调控213nm激光输出功率的方法，包括：S1，设置三倍频晶体的温度；S2，利用三倍频晶体输出532nm激光及355nm激光；S3，对532nm激光及355nm激光进行和频得到213nm激光，并记录该213nm激光的输出功率；S4，重复执行S1～S3多次，其中，每次设置三倍频晶体的温度不同，并记录在不同温度下213nm激光的输出功率，进而得到三倍频晶体的温度与213nm激光的输出功率的对应关系；S5，根据该对应关系，调节三倍频晶体的温度，以调控213nm激光的输出功率。本公开还提供

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112490841 A (43)申请公布日 2021.03.12 (21)申请号 202011367508.7 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人 北京科益虹源光电技术有限公司

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