用于形成金属氧化物膜的涂布液、氧化物绝缘体膜、场效应晶体管、显示元件、图像显示装置和系统.pdfVIP

用于形成金属氧化物膜的涂布液、氧化物绝缘体膜、场效应晶体管、显示元件、图像显示装置和系统.pdf

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一种场效应晶体管，包括：源极和漏极；栅极；半导体层；以及栅绝缘层，其中，所述栅绝缘层是包含A元素和B元素的氧化物绝缘体膜，所述A元素是选自由Zr和Hf所组成的组中的一种或多种，并且所述B元素是选自由Be和Mg所组成的组中的一种或多种。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112514078 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 201980048921.6 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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