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本发明提供了一种存储器阈值电压均匀性的电性测试方法，包括：向选择管施加第一电压，让选择管一直开启；连接所有存储单元的接源线，连接所有存储单元的位线以及连接所有存储单元的基极区；向存储管施加第二电压，第二电压为扫描电压；第二电压每变化一次电压，在存储管上施加一次脉冲电压；量测基极区的电流；将基极区的电流和第二电压的值做成阈值电压表；保持基极区的电流恒定，第二电压变化的幅度越小，则存储器阈值电压越均匀。本发明可以不使用额外的测试结构，可以同时测试所有存储单元的阈值电压，以判断存储器的阈值电压是否均匀
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112489716 A
(43)申请公布日 2021.03.12
(21)申请号 202011347770.5
(22)申请日 2020.11.26
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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