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本发明提供了一种全自动快速溅射镀膜生产设备，包括：底架、进料粗抽真空室、持续高真空室、镀膜真空室、多工位旋转平台、和用于将工件放入或取出所述进料粗抽真空室的全自动取料装置，持续高真空室安装在底架上，所述进料粗抽真空室、镀膜真空室均设置于持续高真空室的顶盖上，顶盖上开设有与进料粗抽真空室连通的第一开口、以及与镀膜真空室连通的第二开口。本发明可通过体积小的进料粗抽真空室实现快速抽气，使得工件从进料粗抽真空室移动到持续高真空室后，可短时间内再移动到镀膜真空室进行镀膜，因而可大大减少真空镀膜的抽气时间，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112481588 A
(43)申请公布日 2021.03.12
(21)申请号 202011126540.6
(22)申请日 2020.10.20
(71)申请人 广东振华科技股份有限公司
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