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提供带剥离装置，缩短带剥离装置的按压部冷却所需时间而不停顿地进行带剥离动作。带剥离装置(1)具有：对晶片(W)进行保持的工作台(30)；将剥离带(T3)按压粘贴在晶片的保护带(T2)的上表面上的剥离带粘贴单元(4)；对所粘贴的剥离带进行夹持的夹持单元(2)；使夹持单元与工作台相对地从晶片的外侧朝向中心移动而对剥离带进行拉拽而将保护带剥离的移动单元(11)；和控制单元(9)，剥离带粘贴单元具有：按压部(42)；使按压部升降的升降单元(43)；对按压部进行加热的加热单元(44)；对按压部进行冷却的冷
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107464767 A
(43)申请公布日
2017.12.12
(21)申请号 20171
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