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本发明提出一种用于制造微机械结构元件的方法，该微机械结构元件具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底中或在罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件的周围环境的进入开口，其中，在第二方法步骤中，设定在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，借助于通过激光产生的激光辐射至少部分在第三方法步骤期间激活
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108367910 A
(43)申请公布日
2018.08.03
(21)申请号 201680
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