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提供加工装置，对卡盘工作台所保持的被加工物的与卡盘工作台相对的面进行拍摄。加工装置具有：卡盘工作台，其具有向上方露出的保持面并对载置在保持面上的板状的被加工物进行吸引保持；以及照相机单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，其中，卡盘工作台包含：保持部，其上表面构成保持面的一部分，对载置于保持面的被加工物作用负压；以及透光部，其使光通过，透光部包含第1区域，第1区域与卡盘工作台所保持的被加工物重叠并构成保持面的另一部分，透光部具有对从第1区域向透光部内行进的光进行反射的第1镜面，照相机单元通
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112509961 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202010946497.1
(22)申请日 2020.09.10
(30)优先权数据
2019-1670
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