加料装置及单晶炉.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.36万字
约 14页
2023-06-01 发布于四川
举报
版权申诉

加料装置及单晶炉.pdf

1、本文档共14页，其中可免费阅读13页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请提供了一种加料装置及单晶炉，其中，该加料装置包括加料腔、第一部件和连接结构；其中，加料腔上设置有加料口；第一部件设置于加料腔，用于打开或关闭加料口；连接结构的一端与第一部件相连，连接结构的另一端与主炉室相连，连接结构内设置有送料通道，连接结构上还设置有真空阀。本申请可以实现加料装置独立抽真空，并通过连接结构与主炉室连接后，可以对连接结构独立抽真空，从而可以减小在对主炉室建立真空环境时需要抽真空的容积，缩短了抽真空的时长，提升了生产效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112522778 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202011380604.5 (51)Int.Cl.