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本发明涉及测量技术领域,特别涉及一种基于激光位移的测量方法。包括内部装有CCD线性相机的一维激光位移传感器,通过在待测平台或待测加工件上方悬置一维激光位移传感器,发出激光垂直照射于待测平台的上表面形成照射点,待测平台和/或一维激光位移传感器之间于待测平台的运动平面内持续发生位移,通过接收待测平台表面散射的激光,计算得出待测平台照射点与一维激光位移传感器的距离数据,通过处理计算距离数据得出待测运动平台的运行平行度、或待测加工件的翘曲度,能够非接触且精确地测量被测物体的位置、位移等变化,具备测量精度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112525081 A
(43)申请公布日 2021.03.19
(21)申请号 202011279819.8
(22)申请日 2020.11.16
(71)申请人 广东九联科技股份有限公司
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