一种基板夹持承载台.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种基板夹持承载台.pdf

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本发明涉及一种基板夹持承载台，承载台上沿圆周方向设有N个pin，相邻两个pin之间最长的弧长小于或等于所承载基板的二分之一周长；pin中具有平移pin，承载台上安装有移动槽，移动槽内分别设有电机C及动力源，动力源通过传动机构与电机C连接、驱动电机C沿承载台的径向往复移动，电机C的输出端与平移pin相连；电机A上安装有导电滑环，电机C及动力源所需供电及信号线路通过导电滑环与外部连接。本发明可在基板工艺过程中移动平移pin，完成对基板的夹持或分开，并旋转转动pin及平移pin，使基板与转动pin及平

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112542414 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 20191