一种半导体测试设备.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种半导体测试设备.pdf

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本发明公开了一种半导体测试设备，其结构包括支撑台、调节板、置放台柱、抑移装置、支架板、稳固架、显示镜。有益效果：本发明利用设有的调触机构，在抑偏件以及对螺杆的调整配合下，以实现根据晶圆直径大小而进行不同的限位固定，从而可有效的避免出现，在晶圆在进行检测时，因探针与其表面的瞬时接触力，而出现偏差力或是导致晶圆表面出现划痕，导致测试出的数据不准确，本发明利用设有的抑尘组与纳框的配合，有利于在设备对于晶圆进行夹持定位时，防止外界的粉尘落入至其接触面的缝隙内，或是附在晶圆侧边面，并导致该位置因覆盖而出现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112526309 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011335088.4 (22)申请日 2020.11.24 (71)申请人龙双权地址 450