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2023-06-01 发布于四川
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一种带通滤波电路的晶圆测试系统.pdf

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本发明一种具有带通滤波电路性能的晶圆测试系统，包括测试机、探针卡，输入信号处理模块、输出采样模块、预修调与修调模块，探针卡分别连接测试机、输入信号处理模块、输出采样模块和预修调与修调模块；探针卡上的探针连接待测试芯片内的焊垫，测试机的通道通过探针卡的探针连接到待测试芯片输入/输出脚。本发明解决了大多测试机无法直接量测交流信号或外挂仪器来测试，解决微小信号测试精度问题，满足不同预修调方式，修调源调，兼容大多数测试需求；以模块化的方式精简测试电路，减少测试电路中对微小信号的干扰，方便扩展多工位测试，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116184175 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202310302174.2 (22)申请日 2023.03.27 (71)申请人东莞市立芯泰半导体有限公司地址

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