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一种柔性薄膜的分层磁控溅射镀膜装置及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-01 发布于四川
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一种柔性薄膜的分层磁控溅射镀膜装置及其制备方法.pdf

    本发明涉及柔性电子技术领域，具体涉及一种柔性薄膜的分层磁控溅射镀膜装置及其制备方法。本发明通过对镀膜进行分层磁控溅射的方式，能更好的细化每一层膜的镀膜质量，配合可分离的支撑板，进一步降低表面针孔率和防止裂纹产生，提高镀膜的整体性能。分层膜镀膜并对每一层膜进行消除静电的处理，提高后续金属粒子附着力，还能有效减少每一层溅射薄膜上的带电粒子，防止产生静电作用吸附腔体中的其他杂质粉末造成薄膜样品表面出现针孔，不仅提高了薄膜的致密性，还大大减少了裂纹，提高镀膜的稳定性和可靠性；同时在基片分层镀膜中，每一次

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116180029 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202310458337.6 C23C 14/20 (2006.01)

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