原创力文档- 1、本文档共23页，其中可免费阅读22页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种衬底处理系统的气体输送系统包含气箱，气箱包含质量流量控制器以控制来自气体源的气流。气流路径与所述气箱流体连通。混合流量计量系统与所述气流路径流体连通，并且包含控制器，所述控制器被设置成：执行第一流量计量，以在由所述质量流量控制器中的至少一者所供应的气体的期望流率小于预定流率时，基于在预定时段期间在所述气箱和流量计量系统之间的所述气流路径中的气体的差动质量来校准所述质量流量控制器中的所述至少一者。所述控制器还被设置成在所述期望流率大于所述预定流率时执行第二流量计量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112543992 A
(43)申请公布日 2021.03.23
(21)申请号 201980052686.X 伊克巴尔 ·谢里夫
(22)申请日 2019.
您可能关注的文档
- 快速更换的端部执行器.pdf
- 电容式挠曲传感器.pdf
- 继电器.pdf
- 含有抗精神病药物的缓释药物组合物及其用途.pdf
- 用于处理材料的系统和方法.pdf
- 具有USB A系列触头垫间距的电连接器.pdf
- 装置、方法以及程序.pdf
- 用于控制数据重传的方法和用户设备.pdf
- 仪表板和仪表板的制造方法.pdf
- 再生毛囊胚的制造方法.pdf
- 广东省茂名市七校联盟2024-2025学年高一下学期2月开学联考试题含答案（9科试卷）.pdf
- 山西省晋中市2024-2025学年高一上学期期末考试含答案7科试卷）.pdf
- 贵州省毕节市2025届高三年级高考第二次适应性考试（毕节二诊）历史含答案.docx
- 江苏省泰州市2024-2025学年高二上学期期末考试政治含答案.pdf
- 山西省晋中市2024-2025学年高二上学期期末考试语文含答案.pdf
- （2025.03.13）全县民营经济发展工作情况总结.docx
- （2025.03.13）在全县宣传思想工作会上的讲话.docx
- （2025.03.13）绿化和市容管理局2024生态环境保护工作履职专题报告（区绿化市容局）.docx
- 学校临聘人员管理制度.docx
- 节约用水公益宣传主题活动.pptx
文档评论（0）