一种抑制大口径干涉仪中光学材料非均匀性影响的方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种抑制大口径干涉仪中光学材料非均匀性影响的方法.pdf

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本发明公开了一种抑制大口径干涉仪中光学材料非均匀性影响的方法，所述方法为大口径干涉仪中大口径准直透镜及TF标准平板的材料非均匀性的影响提供模拟仿真以及校正方案。首先在光学设计软件Zemax中建立扩束系统模型；采用多项式表征大口径光学材料的折射率非均匀性；采用Zemax中自定义面型实现对折射率三维分布的大口径准直透镜和标准平板的建模并模拟分析大口径材料折射率非均匀性的影响。在扩束系统准确建模的基础之上，通过优化小口径准直镜和TF标准平板前表面的面形参数来抑制大口径光学材料非均匀性的影响。本发明对大

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112525071 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202011357852.8 (56)对比文件 (22)申请日 2020.11.27