原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置。薄膜晶体管阵列基板的制造方法包括：提供半导体半成品，半导体半成品包括衬底和层叠设置于衬底上的硅基薄膜层和绝缘层，硅基薄膜层和绝缘层之间具有界面；对硅基薄膜层的沟道区进行杂质离子掺杂，形成沟道掺杂区，并且使得杂质离子与界面中的悬挂键结合。根据本申请的薄膜晶体管阵列基板，能够减轻显示面板的残影现象，提高显示质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112563141 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011434580.7
(22)申请日 2020.12.10
(71)申请人 武汉天马微电子有限公司
文档评论（0）