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本发明公开了一种光刻胶涂布装置，所述光刻胶喷涂装置包括晶圆承载台、驱动装置、晶圆容置装置、光刻胶喷头、溶剂喷头和吸附垫；所述晶圆容置装置用于容置所述晶圆承载台，所述晶圆承载台用于放置晶圆；所述驱动装置与所述晶圆承载台连接以驱动所述晶圆承载台旋转；所述光刻胶喷头位于所述晶圆承载台上方，用于向晶圆喷涂光刻胶；所述溶剂喷头位于所述晶圆承载台上方，用于向所述晶圆边缘喷射溶剂，所述溶剂用于溶解所述光刻胶；所述吸附垫设置在所述晶圆容置装置内壁，并对准所述晶圆边缘，所述吸附垫用于吸附喷溅的所述溶剂；该装置能够
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112558418 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011483346.3
(22)申请日 2020.12.16
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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