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本发明是一种晶圆用石英夹具及其使用方法，其中石英夹具结构包括顶板、底板、立柱组，顶板与底板之间通过立柱组固定连接，立柱组包括立柱一、立柱二、立柱三、立柱四，立柱一、立柱三、立柱四各固定连接有间隔分布的十二个支撑柱，支撑柱用来支撑晶圆，支撑晶圆的部位采用三点触角式球面支撑，支撑球头表面光滑，不易形成尖锐突起，在使用过程中，直接用晶圆倒片器与石英夹具之间传导晶圆，并在晶圆烧结的工序中对晶圆起到支撑、定位，避免与玻璃烧结炉刮碰的作用，能够减少操作也节省了操作时间，减轻了劳动强度，提高劳动效率，降低了生
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112563188 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011455244.0
(22)申请日 2020.12.10
(71)申请人 吉林瑞能半导体有限公司
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