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2023-06-01 发布于四川
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一种基于新型电极结构的半导体加工设备.pdf

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本发明公开了一种基于新型电极结构的半导体加工设备，包括炉体本体、炉门，炉门上设置电极结构，电极结构包括电极柱、电极主体和绝缘材料，电极柱与电极主体连接，绝缘材料覆盖电极柱侧面；电极柱的一端与电极主体连接；电极柱另一端裸露，扩大接触面积；电极柱包括依次连接的连接部、衔接部和固定部；炉体本体采用圆柱形或者长方体，炉体本体采用金属材质，电极柱裸露的一端呈圆弧球面；本发明提供了一种结构简单、电极机构设计合理、且于炉门完美结合实现石墨舟片纵向放置，并能快速调节炉门达到具有良好密封效果的半导体的加工设备的一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112563162 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011260513.8 C23C 16/44 (2006.01) (22)申请日 2

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