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2023-06-01 发布于四川
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一种基于开口谐振环结构的太赫兹生物传感器.pdf

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本发明公开了一种基于开口谐振环结构的太赫兹生物传感器，包括单元结构和基底层，所述单元结构的内部设置有开口谐振环，且开口谐振环的内部设置有顶层金属结构，所述顶层金属结构的下方设置有中间介电层，所述中间介电层的下方设置有底层金属层，且底层金属层的下方设置有基底层。该基于开口谐振环结构的太赫兹生物传感器通过分析了覆盖样品的厚度对吸收器灵敏度和吸收系数的影响，综合考虑选择样品厚度为15μm，使得该传感器对附着在其上面的待测分析物有着很高的敏感性，一般的超材料传感器对厚的薄膜覆盖物灵敏度很低，但是该超材料

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112525852 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011518234.7 (22)申请日 2020.12.21 (71)申请人桂林

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