动态混合气体全组分流量标定系统和标定方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种动态混合气体全组分流量标定系统和标定方法，其中标定系统包括：注气单元，包括一载气管路和若干标定气管路；每个管路上分别设置流量控制器，用于实现注气的动态调节；混流单元，与所述注气单元的各个管路相连，用于混合所述注气单元输送的多路气体；质谱后校准单元，通过混合管路与所述混流单元相连，用于对混流单元输出的混合气体进行采样与检测；处理单元，与所述质谱后校准单元电连接；用于利用等效特征图谱法对质谱后校准单元得到的数据进行处理，实时获得动态调节的混合气体中不同组分的流量与浓度结果。本发明能够给出标定混合

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112557591 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011282231.8 (22)申请日 2020.11.16 (71)申请人中国科学院工程热物理研究所

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