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本发明涉及一种精细线路的蚀刻装置，属于线路板制造技术领域。包括蚀刻喷盘和承载板，承载板在产品下方承载产品，蚀刻喷盘设置在产品的上方，蚀刻喷盘由多排蚀刻喷嘴组成，蚀刻喷盘的喷嘴持续以一定压力喷出蚀刻液到下方的产品上进行蚀刻，在产品的行进方向前端上方设有挡板，挡板设置在蚀刻喷盘的前端，挡板的底部设有阻流片，挡板防止喷淋药液溅射到产品的预处理面，阻流片防止药液回流到产品的预处理面。本发明的有益效果是：能有效地防止蚀刻液因溅射和回流而过早的接触产品预处理面，改变产品表面状态，从而保证了线路的蚀刻精度；能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112530841 A
(43)申请公布日 2021.03.19
(21)申请号 202011342434.1 H01L 23/31 (2006.01)
(22)申请日 2
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