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本发明公开了一种用于高性能压控振荡器的片上键合线电感设计方法,所述片上键合线电感设计方法包括以下步骤:S1:根据工艺库文件,建立三种不同片上螺旋电感的物理模型,采用EDA软件对其进行S参数仿真;S2:根据仿真结果修调工艺参数,使S参数仿真与片上螺旋电感参数吻合;S3:建立片上键合线电感的物理模型,进行S参数仿真;S4:建立片上键合线电感的RLC集总参数模型;S5:通过EDA软件仿真,拟合片上键合线电感RLC集总参数模型里的元器件参数。本发明公开了片上键合线电感的设计方法,有利于缩短高性能压控振荡
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112541314 A
(43)申请公布日 2021.03.23
(21)申请号 202011433953.9
(22)申请日 2020.12.10
(71)申请人 成都博思微科技有限公司
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