一种防氧化硅片清洗装置.pdfVIP

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2023-06-02 发布于四川
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一种防氧化硅片清洗装置.pdf

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本发明公开了一种防氧化硅片清洗装置，包括：箱体组件，所述箱体组件包括清洗箱，所述清洗箱开口处设置有滑动盖，所述清洗箱顶部侧面设置有容置槽，所述滑动盖嵌于所述容置槽中；所述清洗箱内还设置有支撑柱，所述支撑柱上套设有支撑板，所述支撑柱上设置有插接孔；放置组件和提把，所述提把插接在所述插接孔中，所述放置组件与所述提把连接；本发明便于将硅片放置在药液槽中，且可存放数量多，便于拿取。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112582315 B (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202110224962.5 B08B 3/08 (2006.01)