一种具有自温度补偿功能光栅及其制备方法.pdfVIP

一种具有自温度补偿功能光栅及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种具有自温度补偿功能光栅及其制备方法，通过紫外曝光和飞秒刻写在光线基底材料分别刻写变栅距光栅和等栅距光栅，光栅刻写完成后镀金膜制备成具有自温度补偿功能光栅，该方法制备的光栅可以有效的抵抗因环境温度变化带来的干扰，弥补光栅缺少温度补偿的缺陷。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112578493 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 202011431410.3 (22)申请日 2020.12.07 (71)申请人北京信息科技大学地址

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