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- 2023-06-02 发布于四川
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本发明公开了一种基于GOI或SOI的分束/合束波导结构，包括：衬底、绝缘介质低折射率层和分束/合束波导；分束/合束波导和绝缘介质低折射率层从上至下依次制备在衬底的上表面；分束/合束波导包括单路锥形波导、双路楔形波导和连接波导；单路锥形波导设置于左楔形波导和右楔形波导之间；还针对该基于GOI或SOI的分束/合束的波导结构公开了一种上述波导结构的制备方法。本发明中的结构使得GOI或SOI的分束/合束的波导具有确定的光功率分束和合束能力，使得GOI或SOI分束/合束波导具有低成本、高分光效率、高模场光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112596156 A
(43)申请公布日 2021.04.02
(21)申请号 202011505861.7
(22)申请日 2020.12.18
(71)申请人 海南师范大学
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