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本发明提供一种平面大位移压电微振动台，通过采用多段折叠、弯曲支撑梁结构，解决了传统直梁或两段支撑梁振动台平面内位移小的问题，且微振动台在平面内位移可以达到百微米量级，同时还能够实现面内旋转位移。每根支撑梁经过多次折叠、弯曲，形成类似弹簧结构的支撑梁，有效降低支撑梁在平面内的刚度，使微振动台平面内行程提升至数百微米量级。本发明由多根多段折叠式振动支撑梁配合形成，且基本的支撑梁结构可具有多种形式，例如可以包含180°折叠型结构和90°拐角型结构。其中，180°折叠型结构可以用于减小微振动台刚度，从而
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112577684 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202011398942.1
(22)申请日 2020.12.04
(71)申请人 成都度控科技有限公司
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