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提供了一种用于处理衬底的方法，其中所述衬底位于处理室内的喷头下方。在所述衬底上沉积沉积层，其中至少一种沉积气体通过所述喷头提供。在所述沉积所述沉积层的期间，使第二清扫气体从所述处理室内的所述喷头外的位置流入，从而在所述喷头的外缘周围形成流动帘幕，其中所述第二清扫气体包含至少一种成分气体。在所述沉积所述沉积层的期间，随着时间的推移改变所述至少一种成分气体的分压，其中所述沉积所述沉积层具有不均匀性，其中在所述沉积所述沉积层的期间，所述改变所述分压随着时间的推移改变所述不均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112585720 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 201980055085.4 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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