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一种基于二维叠层异质结构的垂直单分子膜场效应晶体管及其制备方法.pdf

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    一种基于二维叠层异质结构的垂直单分子膜场效应晶体管及其制备方法，属于新材料以及分子场效应晶体管领域，由二维材料模板层、超平金属电极、二维材料绝缘支撑层、自组装单分子膜、二维材料漏端电极、绝缘二维材料介质层以及导电二维材料栅电极层构成。本发明采用新型二维材料替代传统场效应晶体管中的栅极和介电层材料，并引入二维材料绝缘层对电极间距进行原子级别厚度的精准控制，引入二维材料薄层对金属电极平整度进行改善，使得器件达到原子级平整并且原子层厚度可控，实现了具有室温稳定性的固态栅极调控的并且具有超平金属电极的垂

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112582541 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202011410952.2 (56)对比文件

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