一种双工位的曝光机以及工作方法.pdfVIP

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2023-06-02 发布于四川
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一种双工位的曝光机以及工作方法.pdf

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本发明提供了一种双工位的曝光机以及工作方法，包括底座和设置在所述底座上的多轴运动平台和龙门，所述多轴运动平台上安装有基板台面，基材放置在所述基板台面上，所述多轴运动平台能够带动基材在三维空间中运动，所述多轴运动平台包括y轴运动组件，所述y轴运动组件设置在底座上穿过所述龙门，所述y轴运动组件上设置有第一工作台和第二工作台，所述第一工作台和所述第二工作台沿所述y轴运动组件运动，所述龙门安装有曝光系统，在所述曝光系统的前后两侧分别安装有对应于第一工作台和第二工作台的第一对位系统和第二对位系统。结构简单

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112612179 A (43)申请公布日 2021.04.06 (21)申请号 20191