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微镜芯片封装结构、激光设备以及汽车.pdfVIP

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  • 2023-06-02 发布于四川
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微镜芯片封装结构、激光设备以及汽车.pdf

    本申请实施例提供一种微镜芯片封装结构、激光设备和汽车。涉及微机电技术领域。主要用于提供一种能够抑制微镜芯片振动幅度的微镜芯片封装结构。该微镜芯片封装结构包括微镜芯片、堆叠的第一衬底和第二衬底；微镜芯片设置在第一衬底的背离第二衬底的一侧；微镜芯片包括框架、可动部件和第一扭转臂，可动部件通过第一扭转臂与框架连接；第一衬底包括隔振平台、弹性梁和支撑框，微镜芯片设置在隔振平台上，隔振平台通过弹性梁与支撑框连接；支撑框与第二衬底固定连接，隔振平台和第二衬底之间形成有间隙；隔振平台和第二衬底上均存在镂空区域

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115784144 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202111063339.2 (22)申请日 2021.09.10 (71)申请人 华为技术有限公司 地址 51812

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