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大直径硅单晶生长过程中固-液界面形状的数值分析 摘 要本文以大直径硅单晶生长过程中的固/液界面形状为研究对象，运用数值模拟的方法，分析了不同工艺参数对固/液界面形状和结晶速率的影响。首先介绍了大直径硅单晶生长的基本过程，及其特点和应用。随后，采用有限元方法建立了固/液界面形状的数学模型，通过对模型进行仿真，得到了固/液界面形状及结晶速率的变化规律。最后，对模拟结果进行了分析，得出了优化生长工艺的一些建议。研究结果对于提高大直径硅单晶的质量和降低制备成本有着重要的意义。关键词：大直径硅单晶；固/液界面形状；数值分析；仿真AbstractIn this paper, the s