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本发明公开了一种ECO改版冗余图形填充方法,包括:从ECO改版前版图数据中,将冗余填充图形和非冗余填充图形分别抽取出来;将提取的非冗余填充图形与ECO改版版图图形进行层与层的差异对比,并在有差异位置生成标定识别层;保留标定识别层外的冗余填充图形,移除标定识别层内的冗余填充图形,形成第一中间版图图形;根据ECO改版版图图形数据,在第一中间图形数据标定识别层范围内重新插入并优化冗余图形,形成第二中间版图图形;将第一中间版图图形和第二中间版图图形合并得到最终ECO改版版图。本发明能够有效地避免ECO造
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112598653 A
(43)申请公布日 2021.04.02
(21)申请号 202011562072.7
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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