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氮化铝单晶基板的清洗方法、氮化铝单晶层叠体的制造方法、和氮化铝单晶基板的制造方法、以及氮化铝单晶基板.pdfVIP

氮化铝单晶基板的清洗方法、氮化铝单晶层叠体的制造方法、和氮化铝单晶基板的制造方法、以及氮化铝单晶基板.pdf

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    一种氮化铝单晶基板的清洗方法，其为对具有铝极性面和出现在该铝极性面的背面的氮极性面的氮化铝单晶基板进行清洗的方法，所述清洗方法包括如下工序(a)：对前述氮极性面的表面进行刷洗清洗。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116194623 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202180060190.4 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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