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本发明涉及一种射频放电等离子体激活吸气剂并增强其吸附速率的装置，包括真空腔室、射频供电系统、抽真空系统组件、供气系统组件及气压采集系统组件。当真空腔室通过球阀及机械泵等真空系统组件获取一定真空后，使用供气气源及质量流量计等供气系统组件设置腔室内的气体种类及压强。当内置吸气剂的中空容器及密封法兰接地并施加射频电场产生等离子体后，通过真空计、真空计显示器、数字信息采集卡及电脑等采集系统组件监测腔室内气压的实时变化，其产生的电磁场及等离子体有效地激活吸气剂并提高了吸气速率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112584595 A
(43)申请公布日
2021.03.30
(21)申请号 20191
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