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- 2023-06-02 发布于四川
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本发明公开了一种III族氮化物二极管器件及其制作方法和应用。所述III族氮化物二极管器件包括：III族氮化物异质结，所述III族氮化物异质结中形成有二维电子气；第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极通过所述二维电子气电性连接；所述III族氮化物二极管器件还包括：多个第三半导体，多个所述的第三半导体与所述异质结配合设置，其中任意两个相邻第三半导体彼此间隔设置，每一所述第三半导体能够将位于其下方的部分的所述二维电子气耗尽，以及，该多个第三半导体还分别与第一电极电性接触。本发明提供的制作方法，减小
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115799296 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202111062410.5 H01L 21/329 (2006.01)
(22)申请日 2021.09
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