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本发明提供一种晶圆级封装结构及封装方法,封装方法包括:提供支撑基底,形成临时键合层、贴片膜;将待封装芯片固定于贴片膜上;制备导电柱;采用封装层封装待封装芯片制备重新布线层;制备金属凸块;基于述临时键合层剥离支撑基底。本发明采用先进行贴片,再进行重新布线层制备的方式,在扇出型晶圆级封装中,有利于缩短制程,减小作业周期,提升产品产率,有利于产品成本的降低,实现了对晶圆级芯片进行有效的六面封装,更好的包装芯片,提高产品的可靠性,采用锡膏印刷或者植球的方式形成金属凸块,减少制程的复杂性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112582284 A
(43)申请公布日
2021.03.30
(21)申请号 20191
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