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一种微粒检测模块,包含:一基座、一压电致动器、一激光组件、一微粒传感器及一外盖,于基座将导气组件承载区及激光设置区间隔,再辅以气体流道设计,最后由驱动电路板封盖于基座底面、外盖封盖基座表面,进而使基座的一进气沟槽定义出一进气路径,以及使基座的一出气沟槽定义一出气路径,可大幅降低微粒检测模块的厚度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112577862 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 201911082653.8
(22)申请日 2019.11.07
(66)本国优先权数据
2019109
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