用以产生投射曝光装置的反射光学元件的方法、用于投射曝光装置的反射光学元件、投射镜头以及投射曝光装置.pdfVIP

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2023-06-02 发布于四川
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用以产生投射曝光装置的反射光学元件的方法、用于投射曝光装置的反射光学元件、投射镜头以及投射曝光装置.pdf

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本发明有关于一种用以产生用于投射曝光装置(1)的反射光学元件的方法，其中该反射光学元件包含具有基板表面(31)、保护层(38)和适合用于EUV波长范围的层部分系统(39)的基板(30)，所述方法包含以下方法步骤：a)测量基板表面(31)，b)在多个电子(36)的协助下照射基板(30)，c)对基板(30)进行回火。此外，本发明有关于一种用于EUV波长范围的反射光学元件。另外，本发明有关于一种投射镜头，其包含作为反射光学元件的反射镜(18、19、20)，并且本发明有关于一种包含投射镜头的投射曝光装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112585537 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 201980045268.8 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

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