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本发明公开了一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉。该起吊装置通过向下延伸的第三连杆围绕于坩埚托盘四周,且通过挂钩承载坩埚托盘并提拉出。第三连杆的打开与闭合操作均通过位于支架上的第一、第二连杆及十字转盘带动,第一、第二连杆及十字转盘不占用炉内空间,且能够较准确的控制第三连杆开合的角度,避免触碰炉壁。该坩埚起吊装置对炉内空间的占用很少,专用于硅单晶炉内坩埚与炉壁间隙较小的环境中。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112575370 B
(45)授权公告日 2022.07.08
(21)申请号 202011470690.9 审查员 李晓娜
(22)申请日 2020.12.15
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