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用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统.pdfVIP

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  • 2023-06-02 发布于四川
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用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统.pdf

    本发明涉及图像处理技术领域，具体涉及用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统。该系统获得MiniLED晶圆局部表面图像的边缘二值图在霍夫空间中的霍夫空间二值图像。在霍夫空间二值图像中获得多组列像素点序列对，选择最大第一优选度的列像素点序列对作为最优列像素点序列对。进而通过第二优选度对每条最优列像素点序列进行筛选，获得最终分割点。根据霍夫空间中的分割点在MiniLED晶圆局部表面图像中的直线信息进行图像分割，获得晶粒图像，对晶粒图像进行模板匹配，获得检测结果。本发明通过在霍夫空间中的准确筛选，获得

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115661143 A (43)申请公布日 2023.01.31 (21)申请号 202211603748.1 H01L 21/66 (2006.01) (22)申请日 2022.12.

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