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本发明公开了基板分割方法和划线用载物台，能够在避免对从基板切出的产品区域造成损坏的同时，稳定地切出产品区域。在工作台面上直接配置玻璃基板(11)，该工作台面包括由具有3GPa以上的杨氏模量的第一材料构成的第一支承面以及由具有比第一材料的杨氏模量小的杨氏模量的第二材料构成的第二支承面。沿第一支承面上的第一虚拟线(ML1)在玻璃基板上形成第一划线(SL1)。通过刀尖在玻璃基板上的滑动，形成沿第二虚拟线(ML2)的第一沟槽线(TLx)，该第二虚拟线具有第一支承面上的第一部分、第二支承面上的第二部分以及
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112573811 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202010933946.9
(22)申请日 2020.09.08
(30)优先权数据
2019-1782
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