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一种六氟化硫氮气混合气体分解产物分析系统.pdfVIP

一种六氟化硫氮气混合气体分解产物分析系统.pdf

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    本发明公开了一种六氟化硫氮气混合气体分解产物分析系统，能够实现六氟化硫氮气混合气体中的氢气、氧气、一氧化碳、四氟化碳、甲烷、三氟化氮、二氧化碳、氧化亚氮、六氟乙烷、硫酰氟、硫化氢、八氟丙烷、氟化亚硫酰、羰基硫、二氧化硫、二硫化碳等16种组分分析，采用中心切割与反吹分离技术，组分之间无干扰峰，分离度R≥1.5，定性定量准确，灵敏度可达ppb级别。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112578063 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 202011529657.9 (51)Int.Cl.

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