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感光性树脂组合物、永久抗蚀剂、永久抗蚀剂的形成方法、及永久抗蚀剂用固化膜的检查方法.pdfVIP

感光性树脂组合物、永久抗蚀剂、永久抗蚀剂的形成方法、及永久抗蚀剂用固化膜的检查方法.pdf

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    本发明的一方面涉及一种永久抗蚀剂的形成方法，其包括：将含有基础聚合物及在360～500nm具有吸收峰且通过光照射发光的化合物的感光性树脂组合物在基板的一部分或整个面涂布并干燥来形成树脂膜的步骤；将树脂膜的至少一部分曝光的步骤；将曝光后的树脂膜显影来形成图案树脂膜的步骤；及加热图案树脂膜的步骤。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116194840 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202180054103.4 (51)Int.Cl .

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